So verwenden Sie die OUTPUT-Klausel von SQL Server für die Aktualisierung

Probieren Sie so etwas aus, Sie müssen immer noch die temporäre Tabelle verwenden, aber es ist nicht so schlimm zu lesen und es erledigt die Arbeit.

CREATE TABLE #tmp
(
    tmpID INT IDENTITY(1,1) PRIMARY KEY CLUSTERED,
    xmlData VARCHAR(255),
    EntityId INT
)
DECLARE @t2 TABLE
(
    tmpID INT,
    EntityId INT
)

MERGE dbo.EntityMaster AS EM
USING
(
    SELECT tmpID,
        xmlData,
        EntityId
    FROM #tmp
) AS X
    ON EM.EntityId = X.EntityId
WHEN NOT MATCHED THEN
    INSERT (EntityType)
    VALUES (X.xmlData)
OUTPUT X.tmpID, INSERTED.EntityId
INTO @t2 (tmpID, EntityId);

UPDATE T
SET EntityId = T2.EntityId
FROM @t2 T2
INNER JOIN #tmp T
    ON T2.tmpID = T.tmpID